CATHODYNE

Cathodoluminescence Optique

CATHODYNE

La cathodoluminescence est une méthode spectroscopique qui permet l’identification, à l’échelle locale, de défauts ponctuels et d’impuretés responsables des propriétés de luminescence d’un matériau bombardé par un faisceau d ’électrons.
Les domaines d’application sont la micro-électronique, matériaux semi-conducteurs, isolants, la géologie et la minéralogie.

 

Le matériel nécessaire au dispositif Cathodyne :

  • Microscope optique équipé d’une caméra faible niveau de lumière
  • Une chambre à vide avec support échantillon motorisé
  • Pompe à vide double étage et accessoires
  • Un générateur d’électrons avec son câble
  • Electronique de contrôle contrôlé par PC – Port USB.

Caractéristiques Cathodyne

  • Maîtrise de la stabilité du plasma de 5kV à 20 kV et 50 à 400µA
  • Prise de vue automatique
  • Mesure semi-quantitative
  • Mesure quantitative avec spectromètre
  • Résolution spatiale extrême <1µm
  • Optionnel : chauffage et/ou refroidissement
Image gauche et droite : Cathodyne sous microscope optique et platine motorisée

IMAGES